好的精密行星減速機設備有如下性能參數：
1、減速比：輸入轉速與輸出轉速之比。 
2、級數：行星齒輪的套數。一般最大可以達到三級，效率會有所降低。 
3、滿載效率：在最大負載情況下（故障停止輸出扭矩），減速機的傳遞效率。 
4、工作壽命：減速機在額定負載下，額定輸入轉速時的累計工作時間。 
5、額定扭矩：是額定壽命允許的長時間運轉的扭矩。當輸出轉速為100轉/分，減速機的壽命為平均壽命，超過此值時減速機的平均壽命會減少。當輸出扭矩超過兩倍時減速機故障。
6、噪音：單位分貝dB（A），此數值實在輸入轉速3000轉/分，不帶負載，距離減速機1米距離時測量值。